温・湿度制御式クリーンオーブン

クラス100の無塵清浄度を維持し、温度60℃〜400℃：湿度25％〜85％RHを可変制御可能なクリーンオーブンであります。熱風・蒸気吹出面にはHEPAフィルター（耐熱温度450℃）を設け、給気・風量はインバータ制御を採用、プログラム温度調整計・湿度制御はジルコニア式高温湿度計（交換器使用）を用いております。